실링 표면 평탄도가 진공 누설을 방지하는 핵심입니다 이 CNC 가공 반도체 챔버 부품은 식각, 증착 및 이온 주입 장비의 하중 지지 벽과 가스 분배 링입니다. 당사는 중요한 실링 면을 0.005mm 평탄도로 가공하고 O-링 그루브의 표면 조도를 Ra 0.4 µm로 유지합니다. 즉, 엘라스토머 핀치 포인트 없이 챔버가 10⁻⁶ Torr 진공을 유지할 수 있습
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실링 표면 평탄도가 진공 누설을 방지하는 핵심입니다 이 CNC 가공 반도체 챔버 부품은 식각, 증착 및 이온 주입 장비의 하중 지지 벽과 가스 분배 링입니다. 당사는 중요한 실링 면을 0.005mm 평탄도로 가공하고 O-링 그루브의 표면 조도를 Ra 0.4 µm로 유지합니다. 즉, 엘라스토머 핀치 포인트 없이 챔버가 10⁻⁶ Torr 진공을 유지할 수 있습
이 CNC 가공 반도체 챔버 부품은 식각, 증착 및 이온 주입 장비의 하중 지지 벽과 가스 분배 링입니다. 당사는 중요한 실링 면을 0.005mm 평탄도로 가공하고 O-링 그루브의 표면 조도를 Ra 0.4 µm로 유지합니다. 즉, 엘라스토머 핀치 포인트 없이 챔버가 10⁻⁶ Torr 진공을 유지할 수 있습니다. BQUQ는 둥관에서 20년간 CNC 생산을 운영해 왔으며, 미국이나 독일 업체의 일반적인 6주가 아닌 10일 리드 타임으로 이 정밀도를 제공합니다.
플라즈마 노출 부품의 경우 6061-T6 알루미늄을 권장합니다. 열전도율(167 W/m·K)이 316L 스테인리스보다 10배 빠르게 반응 영역에서 열을 배출합니다. 당사는 가공 전에 모든 플레이트에 응력 제거 처리를 하여 내부 응력을 제거합니다. 가공 후에는 표면에 60 HRC 상당의 하드 아노다이징 처리를 적용하여 아킹과 입자 탈락을 방지합니다. 이온 주입 엔드 스테이션의 경우 304L 또는 316L을 사용하며 32 Ra 전해 연마로 탈가스를 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm² 이하로 낮춥니다.
챔버 부품에는 15°, 30° 또는 45° 각도의 가스 유입 포트가 필요한 경우가 많습니다. 당사는 DMG MORI 5축 밀링 머신으로 이러한 각도 홀을 단일 셋업으로 가공합니다. 이를 통해 재고정으로 인한 누적 오차를 제거합니다. 포트 간 간격의 일반적인 위치 정밀도는 ±0.01mm입니다. 또한 열 사이클링 하에서 밀봉되어야 하는 히터 카트리지 홀과 열전대 웰에 중요한 클래스 2A 맞춤의 내부 나사산도 가공합니다.
모든 원자재 배치에는 EN 10204 3.1 밀 인증서가 포함됩니다. 절단 전에 화학 성분과 경도를 검증합니다. 알루미늄 부품의 경우 T6 템퍼(190 HB)를 사용합니다. 스테인리스의 경우 용체화 어닐링 상태를 사용하며, 필요 시 수소 취성을 제거하기 위해 400°C에서 최종 진공 베이킹을 수행합니다. 모든 부품의 검사 시트에 경도 측정값을 기록하여 실제 수치를 제공합니다.
샘플이 아닌 중요 형상의 100%를 검사합니다. Zeiss CMM이 모든 보어, 볼트 패턴 및 실링 표면을 3D 모델과 대조하여 확인합니다. 진공을 유지해야 하는 부품의 경우 1×10⁻⁹ mbar·L/s까지 헬륨 누설 테스트를 실시합니다. 또한 교정된 스케일 옆에서 부품을 촬영하여 기록으로 제공합니다. 모든 출하 시 전체 검사 보고서를 추가 비용 없이 제공합니다.
표준 마감은 비실링 영역 Ra 0.8 µm, 실링 면 Ra 0.4 µm입니다. Cl₂ 또는 HBr과 같은 부식성 화학 물질의 경우 내식성을 제공하는 25 µm 하드 아노다이징(Type III)을 적용합니다. 스테인리스 부품의 경우 가공 경화층을 제거하고 수동 크롬 산화물 표면을 남기는 전해 연마를 제공합니다. 웨이퍼 결함을 유발하는 미디어 입자가 박히는 연마 블라스팅은 사용하지 않습니다.
부품을 ESD 안전 플라스틱에 이중 포장하고 폼 라이닝 목재 크레이트에 넣어 포장합니다. 외부 크레이트에는 "Fragile—Vacuum Grade" 표시와 함께 건조제 백이 포함됩니다. 훈증 증명서와 상업 송장을 포함한 모든 수출 서류를 처리합니다. DHL 또는 FedEx를 통한 문 앞 배송은 미국, EU 또는 일본까지 3-5일이 소요됩니다. 긴급 수리의 경우 48시간 내에 단일 부품을 항공 운송할 수 있습니다.
| 사양 | 값 / 범위 |
|---|---|
| 재료 | 알루미늄 6061-T6, 7075-T6, 스테인리스 304L/316L, 티타늄 Grade 5 |
| 최대 부품 크기 | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| 두께 범위 | 2 mm ~ 200 mm |
| 경도 (알루미늄) | T6: 95 HB; 하드 아노다이징: 60 HRC 상당 |
| 경도 (스테인리스) | 용체화 어닐링: 200 HB 최대 |
| 가공 공차 | ±0.005 mm (선형), ±0.01 mm (위치) |
| 표면 조도 Ra | 0.4 µm (실링), 0.8 µm (표준), 0.2 µm (광학) |
| 런아웃 (동심도) | 보어 간 ≤0.005 mm |
| 리드 타임 | 표준 10일, 긴급 5일 |
| MOQ | 최소 주문 수량 없음 — 1개 또는 1000개 |
| 검사 | 100% CMM, 헬륨 누설 테스트 선택 사항 |
3D STEP 또는 IGES 파일이 필요합니다. 2D 도면은 복잡한 곡선 포트의 표면 프로파일 지시를 놓칠 수 있습니다. 솔리드 모델을 보내주시면 벽 두께, 공구 접근성 및 내부 반경을 확인합니다. 제조 문제가 발견되면 툴링 비용을 지불한 후가 아닌 4시간 이내에 알려드립니다.
CNC 프로그램, 지그 및 검사 루틴을 서버에 10년간 보관합니다. 재주문 시 프로그램을 꺼내 첫 번째 제품을 재가동하고 7일 내에 출하합니다. 반복 주문에는 새 셋업 비용이 없습니다. 연간 계약의 경우 중요 원자재의 안전 재고를 보유할 수 있습니다. 예측 수요만 알려주세요.
최소 주문 수량이 없습니다. 프로토타입 1개 또는 양산 1000개를 동일한 단가로 가공합니다.
네, 중국, 대만, 일본의 인증 밀에서 조달합니다. ASTM 또는 DIN 사양을 보내주시면 24시간 내에 가용성을 확인해 드립니다.
단일 부품에도 1000개 배치와 동일한 CMM 검사 및 재료 인증서를 적용합니다. 절충 없이 진행합니다.
단순 알루미늄 플레이트는 48시간 내에 가공하여 항공 운송할 수 있으며, 복잡한 다중 포트 챔버는 5-7일이 소요됩니다.
실제 정밀도로 챔버 부품을 제작할 준비가 되셨나요? 3D 모델과 수량을 sc@bquq.com으로 보내주세요. 재료비, 가공 시간 및 배송 옵션을 포함한 확정 견적을 12시간 이내에 회신해 드립니다. 긴급 문의는 WhatsApp +86 13713157787로 연락주세요. 최소 주문 수량 없음, 설계 비용 없음, 숨은 툴링 비용 없음 — CNC 가공 공차 가이드를 충족하고 수천 번의 공정 사이클을 견디는 CNC 가공 반도체 챔버 부품을 제공합니다. 중국에서의 정밀 제조는 20년의 수출 경험으로 뒷받침됩니다. 또한 특정 합금에 적합한 공구 선택을 도와드립니다. 자세한 내용은 CNC 절삭 공구 선택 가이드를 확인하세요. 지금 도면을 보내주세요.
| 파라미터 | 능력 |
|---|---|
| 재질 | AL6061/7075, SUS303/304/316, 45# 강, T2 구리, H59 황동, POM, PEEK, 나일론 |
| 공차 | ±0.005mm 표준, ±0.003mm 요청 시 |
| 기계 | 3/4/5축 CNC, 턴-밀, 스위스 선반 |
| 표면 처리 | 아노다이징, 니켈, 아연, 패시베이션, 샌드블라스트, 폴리싱 |
| 크기 범위 | 최대 400 x 300 x 200 mm |
| 프로토타입 | 72시간, 샘플 최소 주문 수량 없음 |
| 검사 | 배치별 전체 보고서, CMM 데이터 요청 시 제공 |
