이 CNC 가공 반도체 챔버 부품은 웨이퍼 공정 단계를 수용하는 진공 밀봉, 플라즈마 내성 인클로저입니다. 당사는 벽 두께를 ±0.005mm로 유지하고, 모든 결합면에서 0.005mm 런아웃을 달성하며, 15일이 아닌 5일 만에 초도품을 출하합니다. 모든 부품은 인증된 알루미늄 또는 스테인리스 빌릿을 3축 및 5축 머신에서 밀링한 후, 공격적인 에칭 및 증
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이 CNC 가공 반도체 챔버 부품은 웨이퍼 공정 단계를 수용하는 진공 밀봉, 플라즈마 내성 인클로저입니다. 당사는 벽 두께를 ±0.005mm로 유지하고, 모든 결합면에서 0.005mm 런아웃을 달성하며, 15일이 아닌 5일 만에 초도품을 출하합니다. 모든 부품은 인증된 알루미늄 또는 스테인리스 빌릿을 3축 및 5축 머신에서 밀링한 후, 공격적인 에칭 및 증
이 CNC 가공 반도체 챔버 부품은 웨이퍼 공정 단계를 수용하는 진공 밀봉, 플라즈마 내성 인클로저입니다. 당사는 벽 두께를 ±0.005mm로 유지하고, 모든 결합면에서 0.005mm 런아웃을 달성하며, 15일이 아닌 5일 만에 초도품을 출하합니다. 모든 부품은 인증된 알루미늄 또는 스테인리스 빌릿을 3축 및 5축 머신에서 밀링한 후, 공격적인 에칭 및 증착 환경에서의 침식 내성을 위해 60 HRC 상당 표면 경도로 하드 아노다이징 처리됩니다.
밀봉 그루브는 모든 챔버의 핵심입니다 — 여기에 누설 경로가 생기면 공정이 파괴됩니다. 당사는 범용 엔드밀 대신 전용 단일 포인트 공구로 이러한 그루브를 절삭합니다. CNC 프로그램은 12,000 RPM에서 0.02mm 스텝오버로 클라이밍 밀링을 사용하여 O-링이 균일하게 압축되는 표면을 생성합니다. 각 그루브는 표면 조도 측정기뿐만 아니라 교정된 에어 게이지로 검증합니다. 결과: 출하되는 모든 챔버에서 헬륨 누설률이 1×10⁻⁹ mbar·L/s 미만입니다.
대부분의 챔버에는 열전도율(167 W/m·K)과 가공성이 균형을 이루는 6061-T6 알루미늄을 사용합니다. 불소계 플라즈마의 경우 316L 스테인리스 또는 인코넬 625로 전환합니다 — 이 합금은 표준 알루미늄을 용해시키는 할로겐 공격에 저항합니다. 밀링 후에는 Type III 하드 아노다이징(50–60 HRC)을 적용하거나, 스테인리스에는 무전해 니켈 도금(48–52 HRC)을 적용합니다. T6 템퍼는 모든 입고 빌릿에 대해 전도도 테스트로 검증됩니다.
당사는 샘플 검사에 의존하지 않습니다. 각 챔버 부품은 0.001mm 분해능 프로브로 전체 CMM 검사를 받습니다 — 형상에 따라 40~120개 측정 포인트. 밀봉 그루브는 최종 조립에 사용되는 동일한 에어 게이지로 측정됩니다. 표면 조도는 휴대용 스크래치 게이지가 아닌 레이저 표면 조도계로 확인합니다. 모든 데이터는 PO 번호가 포함된 PDF 보고서로 저장되어 부품 출하 전에 발송됩니다.
챔버 벽에는 3축 머신이 여러 번의 셋업 없이는 도달할 수 없는 각진 포트, 가스 주입구, 냉각 채널이 있습니다. 각 셋업은 런아웃 위험을 추가합니다. 당사의 5축 DMG MORI 머신은 이러한 피처를 단일 클램핑으로 절삭하여 전체 부품에서 ±0.01mm 위치 공차를 유지합니다. 도면에 포트 각도가 30° 또는 45°인 경우, 2차 EDM이나 드릴링 작업 없이 한 번의 패스로 가공합니다.
단일 프로토타입 챔버의 표준 리드타임은 5~7일, 50개 배치는 15일입니다. 최소 주문 수량을 적용하지 않습니다 — 검증용 1개 부품을 주문한 후 500개로 확장하세요. 이것은 중국에서 이루어지는 정밀 제조의 새로운 방식입니다: 당사는 자체 가공 라인을 보유하여 일정을 직접 통제합니다. 브로커, 중개인, 하청업체의 여유 시간을 기다릴 필요가 없습니다.
플라즈마에 노출되는 챔버 내부는 입자 발생을 줄이기 위해 Ra 0.4µm가 필요합니다 — 당사는 0.01mm 레이디얼 맞물림의 4날 카바이드 엔드밀과 2µm 다이아몬드 패스로 이를 달성합니다. 열전달에 거칠기가 도움이 되는 냉각 채널의 경우 Ra 1.6µm로 유지합니다. 아래 표는 표준 옵션을 보여줍니다. 사양을 알려주시면 형상이 맞춤 공구를 요구하지 않는 한 추가 비용 없이 충족합니다.
| 파라미터 | 표준 범위 | 비고 |
|---|---|---|
| 재료 | 6061-T6 알루미늄, 316L 스테인리스, 인코넬 625 | 밀 트레이서빌리티로 인증 |
| 최대 부품 크기 | 800mm × 600mm × 400mm | 요청 시 대형 가능 |
| 경도 (아노다이징 후 알루미늄) | 50–60 HRC | Type III 아노다이징, 25–50µm 두께 |
| 경도 (Ni 도금 후 스테인리스) | 48–52 HRC | 무전해 니켈, 20–30µm |
| 공차 (가공) | ±0.005mm | 중요 밀봉 표면 기준 |
| 공차 (일반) | ±0.02mm | ISO 2768-fine |
| 표면 조도 | Ra 0.4µm ~ Ra 1.6µm | 레이저 표면 조도계로 측정 |
| 런아웃 (동심 피처) | 0.005mm TIR | CMM으로 검증 |
| 리드타임 (프로토타입) | 5일 | 도면 승인 기준 |
| 리드타임 (50개 배치) | 15일 | 최소 주문 없음 — 1개 또는 500개 주문 가능 |
고객의 챔버는 CF 플랜지, ISO-K 또는 독점 클램프 설계를 사용할 수 있습니다. 당사는 이 모든 것을 원자재 빌릿에서 가공합니다 — 용접이나 브레이징 없이. 플랜지 면은 0.002mm 평탄도로 래핑되고, 볼트 구멍은 ±0.05mm 실제 위치로 드릴링됩니다. 도면에 표준 공구 라이브러리에 없는 포트가 지정된 경우 직접 프로그래밍합니다. CAM 소프트웨어는 나사산용 헬리컬 보간을 처리하므로 별도의 인서트가 필요하지 않습니다.
최소 주문 수량이 없습니다 — 검증용 단일 프로토타입 챔버 부품을 가공한 후 필요한 모든 수량으로 확장할 수 있습니다.
네, 5축 머신은 ±0.01mm 위치 정확도로 0°~90°의 모든 각도를 절삭하며, 최소 직경 3mm로 최대 300mm 깊이의 냉각 채널을 드릴링합니다.
모든 부품은 0.001mm 분해능의 전체 CMM 검사를 받고, 밀봉 그루브는 에어 게이지로 측정되며, 표면 조도는 레이저로 측정됩니다 — 모든 데이터는 PDF 보고서로 발송됩니다.
도면 승인 후 10일 내에 20개 배치를 출하하며, RFQ 수신 후 12시간 이내에 이메일로 일정을 확인해 드립니다.
둥관의 대부분 공장은 챔버 작업을 2차 업체에 하청합니다. 당사는 그렇게 하지 않습니다. 자체 CNC 머신 20대가 24/7 가동되며, QC 팀은 운영자와 같은 층에 있습니다. 이것이 0.005mm 런아웃을 보장할 수 있는 이유입니다 — 운영자가 부품을 CMM으로 직접 가져가며, 시내를 가로질러 가지 않습니다. 또한 5일 프로토타입을 달성하는 이유이기도 합니다 — 외부 벤더 대기열이 없습니다. 이것은 중국에서 이루어지는 정밀 제조이지만, 단일 사이트 운영의 통제력을 갖춘 것입니다.
일반적인 문제를 피하려면 CNC 절삭 공구 선택 가이드를 읽어보세요 — 공구 형상이 챔버 표면 조도에 미치는 영향을 설명합니다. 더 엄격한 사양의 경우 CNC 가공 공차 가이드를 확인하여 데모 부품이 아닌 실제 생산에서 달성 가능한 수준을 확인하세요. 에너지 비용을 평가 중이라면 지속 가능한 정밀 제조 노트에서 부품당 전력 사용량을 18% 절감하는 방법을 확인할 수 있습니다.
이 CNC 가공 반도체 챔버 부품에 대한 도면을 보내시면 12시간 이내에 확정 견적을 받으실 수 있습니다. 이메일 sc@bquq.com 또는 WhatsApp +86 13713157787로 문의하세요. 가격, 리드타임, DFM 검토를 무료로 회신해 드립니다 — 의무 없음.
| 파라미터 | 능력 |
|---|---|
| 재질 | AL6061/7075, SUS303/304/316, 45# 강, T2 구리, H59 황동, POM, PEEK, 나일론 |
| 공차 | ±0.005mm 표준, ±0.003mm 요청 시 |
| 기계 | 3/4/5축 CNC, 턴-밀, 스위스 선반 |
| 표면 처리 | 아노다이징, 니켈, 아연, 패시베이션, 샌드블라스트, 폴리싱 |
| 크기 범위 | 최대 400 x 300 x 200 mm |
| 프로토타입 | 72시간, 샘플 최소 주문 수량 없음 |
| 검사 | 배치별 전체 보고서, CMM 데이터 요청 시 제공 |
